熱式質量流量計(控製器)使用中注意事項

(1)儀表使用時（shí）,使用環境應滿足說明書中規定的環境條件（jiàn）和使（shǐ）用攏術規定,流（liú）ZUI大（dà）值應在所選儀表程的規定範圍內。

(2)為了保證 MFM/MFC可緣工作和維護使用方便,儀表使用時（shí）應配套（tào）安裝適（shì）當截止、過（guò）濾器,幹燥器、單（dān）向、減壓器和背壓等。

(3)由於該儀表容易發生堵塞現象（xiàng）,所以使（shǐ）用（yòng）中要經常啟用“清洗”過程和（hé）定期清洗配套過濾器。

(4)使用中進行“清洗”操作時（shí）,“清洗”結東,不要直接轉入“閥控”位,應先置於“關閉位覺,然後,再轉至“控”位。

(5)對於（yú）反應係統,建議在 MFM/MFC入（rù）口處（chù）加裝過濾（lǜ）器,出口端加裝單向層,以防止異（yì）常（cháng）情況發生時（shí）,液體（tǐ）反應物倒流至儀表內使其（qí）損壞。

(6)對於（yú）常壓係統,一般選擇減壓（yā）器和過濾器與其配套,以便保證儀表可運行和控精度。

(7)對於高壓係統,應（yīng）在 MFM//MFC的上（shàng）遊（yóu）加裝減壓閥、過濾器,下遊加裝背壓閿(或（huò）其（qí）他節流（liú）裝)及壓力表,以便保證 MFM/MFC應有的工（gōng）作壓差。

(8)對（duì）於矽烷這樣的遇（yù）空氣（qì）易形成結晶的氣體,應特別注意（yì）係（xì）統的密閉性（xìng）(檢（jiǎn）漏時,不要（yào）忽視減壓器),必（bì）要時設計上吹洗旁路,以便進行氮（dàn）氣吹洗或正壓（yā）保待（dài）。

(9)對有（yǒu）高頻源的係（xì）統,應（yīng）注意屏（píng）慧,並做（zuò）好接地（dì）,一般選擇單點接地（dì）為宜。

(10)對於高真空係統,應盡量減少氣略接頭,對須有的接頭,要嚴格密封（fēng）或采（cǎi）用VCR等接頭

(11)對於 MFM/MFC的（de）安裝位置,應盡景選擇水平（píng）位置、並且安裝麵要水平、安裝（zhuāng）位置要易於裝卸、檢、調零。安裝時要盡量避免受到撞擊,安裝固定要安全可靠。

(12)使用中,如果（guǒ）工藝係統（tǒng）複雜（zá）或使用特殊氣體,儀表的測（cè）控係統啟（qǐ）用應建立專用（yòng）的（de）操作規程。

(13)使用中若發現儀表（biǎo）零點偏（piān）移時、可通過外罩上的調零孔調整,也可揭開外罩調（diào）整,但量程調整電位器不（bú）得輕易調整。

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